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DUNA TABLE TOP Series |
Spin Coater Specifications
¡ñ Substrate: Up to 150mm
¡ñ Programmable Speed: Up to 5,000 rpm
¡ñ Speed Increment: 10 rpm
¡ñ Speed Display: Digital (LCD)
¡ñ Spin Steps: 10
¡ñ Process Recipe: 10 Recipes
¡ñ Time: 1-999 sec
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DUNA 700 Linear Track System
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Specification:
¡ñ Wafer Size: up to 200 mm
¡ñ Recipe Management & data logging
¡ñ 99 programs
¡ñ Brushless motor and controller
¡ñ up to 3 dispenses per Coater module
¡ñ Topside EBR
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DUNA 800 Sub-Micron Wafer Pocessing System  |
Processes
¡ñ Sub-micron
¡ñ Bump
¡ñ Post Passivation
¡ñ Solar
¡ñ MEMS
¡ñ Optoelectric
¡ñ Polyimide
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